XD系列真空泵(beng) 産生(sheng)的振動是否會(hui)影響工藝和環(huan)境。如果工藝不(bu)允許🐉,應選用無(wú)振動的泵或采(cǎi)取防振措施。了(le)解被抽氣體的(de)成分,氣體中是(shi)否含有可凝性(xing)水蒸氣,是否有(yǒu)顆粒塵埃💃🏻,是否(fǒu)有腐蝕等💰。選擇(zé) XD系列(lie)真空泵 時,需要了解(jiě)氣體成分,并針(zhēn)對被抽氣體選(xuǎn)擇相應🤟的泵氣(qì)體。如果氣體中(zhōng)含有蒸汽、顆粒(li)和腐蝕性氣㊙️體(ti),應考慮在泵的(de)進氣管道上安(ān)裝輔助設備,如(ru)冷凝器、除塵器(qi)等。
XD系列真空泵 應能排(pái)出真空設備過(guò)程中産生的所(suo)有氣體。正确🔞組(zǔ)合 XD系(xi)列真空泵 。由于 的(de)選擇性抽氣,有(you)時一台泵不能(néng)滿足抽氣要求(qiu),需要🆚将幾台泵(bèng)組合起來,取長(zhang)補短才能滿足(zú)抽氣要求。例如(rú),钛升華泵對氫(qīng)氣有很高的抽(chōu)速,但不能抽氦(hai)氣,三極管濺射(she)離子泵對氩氣(qi)有一定的抽速(sù)。結合起來,真空(kong)裝置将獲得更(gèng)好的真空度。
XD系(xi)列真空泵 不能在常(chang)壓下工作,需要(yao)預抽真空;有些(xie) XD系列(liè)真空泵 出口壓力低(dī)于大氣壓,需要(yào)前級泵,所以都(dōu)需要組合使用(yòng)。真空設備對油(yóu)污染的要求。