截(jie)至 2013年，真空(kōng)行業使用(yong)的機械真(zhēn)空泵大多(duo)采用油、水(shuǐ)或其他聚(ju)合🔴物等流(liú)體作爲泵(beng)的工作介(jie)質，在泵内(nèi)具有冷卻(què)、密封、潤滑(hua)等多重功(gong)能。随着科(kē)學技術的(de)發展和真(zhen)空應用🧑🏽🤝🧑🏻領(lǐng)域的擴大(da)，原有的機(ji)械真空泵(beng)及其排氣(qi)系統有兩(liang)個迫切需(xū)要解決的(de)問題：一是(shì)泵🍓的工作(zuo)介質倒流(liu)，污染被抽(chou)容器，而這(zhè)種回流在(zai)很⭐多情況(kuàng)下會影響(xiang)産品的質(zhì)量和數量(liang)，增加設備(bèi)的維護成(cheng)本。其次，真(zhēn)空泵中的(de)介質由于(yú)某些過程(cheng)中的反應(ying)物而嚴重(zhòng)變質，使泵(bèng)無法正常(chang)工🌐作。
對于(yú)普通的無(wu)油真空系(xi)統，雖然可(kě)以使用油(yóu)封真空泵(bèng)🧑🏾🤝🧑🏼和冷阱或(huò)吸附阱等(děng)附件來防(fáng)止回流，但(dàn)不能🙇♀️完全(quán)解決問題(tí)，使系統複(fu)雜。使用合(hé)适類型的(de) XD系列真空(kong)泵 可以達(da)到預期的(de)效果。
XD系列(lie)真空泵 應(yīng)用廣泛，主(zhǔ)要表現在(zài)以下幾個(ge)方面：
2、半導體(tǐ)蝕刻工藝(yì)。 XD系列真空(kong)泵 在這些(xiē)生産過程(cheng)中經常使(shǐ)用或産生(shēng)腐蝕性氣(qi)體和磨料(liào)顆粒；
3、對于除半(bàn)導體工藝(yì)外的一些(xie)會産生顆(ke)粒的工藝(yi)😄，預計顆粒(li)不會混入(ru) 的泵油(you)中，預計顆(ke)粒會從泵(beng)中排出，某(mou)種類型的(de)幹式機械(xiè)真空泵可(kě)以滿足要(yào)求；
4、在(zai)化工、醫藥(yao)、食品行業(yè)的蒸餾、幹(gan)燥、脫氣、包(bao)裝等過程(cheng)中‼️，應防止(zhǐ)有機溶劑(ji)造成污染(rǎn)，宜選用 ；
5、 XD系列(lie)真空泵 用(yòng)作一般無(wú)油清潔真(zhen)空系統的(de)前級泵，防(fáng)止油污。
